第286节（2 / 2）

相比市面上常见的其它光源，氟化氙光源性能更优适合用于光刻。

不过其制作难度较大。

国内始终没有解决此光源面对的问题。

罗长辉显然很清楚各种光源的情况，因此看到文件中内容后便基本确定很大概率是可行的。

也就是说只要他们按照这份文件中的设计方案来制造氟化氙光源，那么就有可能成功，如此便相当于彻底解决了高端光刻机的光源问题，大幅度缩短国产高端光刻机的研发进度。

但他最震撼的，还是设计方案出自徐昀之手。

他可以确定徐昀在加入项目成为负责人前，应该是没有系统性研究过光刻机的。

也就是说徐昀在短短十几天内，不但确定了研究方向还完成了方案。

简直就是妖孽。

尽管早就听说徐昀的天赋非常强大，连续创造出了多项不同领域内的奇迹。

不过这并没有什么清晰概念。

而现在他见识到了。

强行压制住内心无比的激动，他再次确认道：“这份方案是你写出来的？”

“虽然还没有进行实际测试，但我觉得这项理论是可行的。”

徐昀面色平静回复一句，接着又反问道：“罗院士以为这项理论能行吗？”

“可以试一试。”罗长辉沉声答道。

就目前而言他们并没有其它成熟的光源方案，徐昀的氟化氙光源确实是最佳选择。

加上文件中的理论非常详细，真着手去制造的话用不了多长时间便能得到稳定的氟化氙光源，届时是否能满足光刻机要求，只需要测试出光源可以稳定发出的功率就行。

真要成功的话，国产极紫外光刻机便相当于攻克一项重大难题。

是突破性的进展。

关键距离新极紫外光刻机项目成立还没多久。

当然就算失败了也没关系。

权当积累经验。

他们两人的对话进行到这里，旁边研究员杨靖教授也终于回过神来，脸上浮现出溢于言表的笑容。

“这份方案太棒了，我敢肯定只要按照上面的去做肯定能制造出功率强大稳定的氟化氙光源。”

随着他的话音落下，其他几位研究员也像是被打开了话匣子纷纷开口表态。

“我暂时没发现有什么漏洞。”

“方案理论是可行的，我们应该立刻尝试实验。”

“院里邀请徐教授您来担任项目负责人简直是非常正确的决定，这才多长时间您就已经有了极紫外光刻机光源的解决方案。”

将几位研究员的话听进耳朵，徐昀脸上浮现出淡然笑容稍微谦虚了句。

“我之前对光源有过相关研究，这项方案说实话也没有百分百的把握。”

“别说百分百的把握，哪怕只有一点把握都值得我们去尝试。”罗长辉这时候情绪也平静了下来，接过话茬开口补充了句。

光电技术研究所很早就开始研发光刻机，奈何相比海外始终落后大截。

根本不具备制造高端芯片的能力。

其中对光源的研究更是有局限，很难提升光源的功率并且保证稳定输出。

丝毫不夸张的讲，若不是有徐昀加入项目组，就凭氟化氙光源都要让他们研究许久。

毕竟能制造出氟化氙光源没啥厉害的，关键要能保证功率和持续性的稳定输出。

无法保证光源稳定的话，功率最大值哪怕再大都无法用于极紫外光刻机。

单凭这点便足以证明徐昀的实力。

但要说会议室内此刻谁的情绪波动最大，那肯定属刘星和另外几位博士后研究员助理。

就差把心里想法写到脸上。

因为徐昀并没有把方案复制太多份，刚才也就只有罗长辉等几位研究员看到。

突然看见包括罗长辉在内的研究员在看完文件后都是这么个反应，他们心里难免会感到非常好奇，尤其后面听到和光源有关，情绪波动的更加激烈知道这绝对是个大消息。

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